截至2025年3月4日13:54，中芯国际概念板块整体上涨2.43%，近五日累计跌幅0.98%，近一个月累计涨幅达13.17%。在跟踪该板块的ETF中，万家基金的半导体设备ETF基金（159327）涨幅最大，日内上涨1.66%。
从板块成分股来看，安路科技表现最为突出，大涨20.0%；澜起科技、东芯股份、捷捷微电等个股也表现不俗，其中澜起科技涨幅达5.18%，东芯股份和捷捷微电涨幅均超过3%。
资金动向方面，目前跟踪中芯国际概念板块的ETF共有7只，总规模为40.33亿元。上一交易日资金流出5836万元，近一周资金流出5.45亿元，近一个月资金流出5.86亿元。其中，广发基金的芯片设备ETF（560780）在近一周内未出现明显资金流入。
